半導(dǎo)體精密微光刻機(jī)減震器液壓缸推力不足是什么原因？

漏油原因：液壓缸與活塞桿中間因損壞而間隙太大。假如活塞桿配有密封圈，會(huì)因?yàn)槊芊馊p壞或衰老而喪失封口作用。

對(duì)策：拆換活塞桿或密封圈，保持間隙。

假如只經(jīng)常應(yīng)用氣缸某一位置，部分損壞比較嚴(yán)重，間隙擴(kuò)大，氣缸泄露。這時(shí)，可以再次研磨缸孔并重新部署活塞桿。

氣缸內(nèi)部構(gòu)造不一樣，姿勢(shì)摩擦阻力太大，使氣缸速度隨日程安排位置而轉(zhuǎn)變。

大蘭液壓油缸

發(fā)生這種情況的原因：聽說是組裝品質(zhì)不行導(dǎo)致的。（液壓缸密封性過緊，液壓缸過長(zhǎng)，造成滾動(dòng)位置工作壓力太大）或廢棄物進(jìn)入氣缸滾動(dòng)位置（特別是顆粒廢棄物）。

假如調(diào)速閥進(jìn)入臟物，閥心處于開與關(guān)狀況減震器液壓缸壓差，液壓油全自動(dòng)流進(jìn)機(jī)油箱，液壓油缸內(nèi)并沒有液壓油注入。假如負(fù)載太大，雖然調(diào)速閥的調(diào)整工作壓力已實(shí)現(xiàn)較大額定值，但液壓缸仍不可以獲得不斷姿勢(shì)所需的力，液壓缸不動(dòng)。假如調(diào)節(jié)工作壓力低，沒法做到負(fù)載所需的驅(qū)動(dòng)力，則為工作壓力不夠，驅(qū)動(dòng)力不夠。這類問題都產(chǎn)生在閘閥上減震器液壓缸壓差，因此應(yīng)當(dāng)檢查閘閥。

半導(dǎo)體精密微光刻機(jī)減震器液壓缸推力不足是什么原因？

1.氣缸里有大氣或油泵提供的油不夠，會(huì)讓氣缸姿勢(shì)不穩(wěn)定（或慢）。

排除主缸氣體或檢查油泵。

2.也有一種情況是壓力表上表明的氣缸壓力充足了，但是氣缸或是推不動(dòng)。

發(fā)生這種情況的原因：一般是減震器活塞桿側(cè)面與缸蓋觸碰緊密，工作壓力油不能加入或合理工作上總面積太小，沒法產(chǎn)生充足的驅(qū)動(dòng)力使氣缸運(yùn)動(dòng)。